Китайський стартап Langdao Silex під час промислової виставки в Шанхаї презентував прототип джерела екстремального ультрафіолетового (EUV) випромінювання під назвою FlintNano LPP-OXXO. Оскільки країна позбавлена можливості напряму імпортувати літографічне обладнання від ASML через санкції, місцеві розробники змушені створювати власні альтернативи. Потужність представленого пристрою перевищує 15 Вт, при цьому розробники заявляють про використання 90% компонентів внутрішнього виробництва.
Новину про створення прототипу поширило агентство TrendForce, посилаючись на внутрішні джерела та звіти компанії. Стартап Langdao Silex був заснований у 2024 році випускниками лабораторії газового розряду та плазми Університету Цінхуа. Під час демонстрації в Шанхаї пристрій показали у вимкненому стані, проте технічні характеристики системи вже стали відомі аналітикам.
Система використовує технологію лазерно-продукованої плазми (LPP), подібну до рішень провідних західних виробників. Вона генерує випромінювання шляхом бомбардування крихітних крапель металу високоенергетичними лазерними імпульсами. Заявлена стабільність роботи джерела становить понад 100 годин безперебійної експлуатації, що є непоганим показником для передсерійного зразка, хоча незалежно перевірити ці дані наразі неможливо.
За своїми базовими параметрами розробка Langdao зіставима з ранніми експериментальними зразками західних і японських компаній, які створювалися на початку 2010-х років. Зокрема, ранні системи Cymer та Gigaphoton демонстрували схожі показники потужності на початкових етапах випробувань. Водночас сучасні комерційні установки ASML для масового виробництва мікросхем потребують потужностей у сотні ват.
Експерти зазначають, що саме по собі джерело світла не перетворюється автоматично на готовий літографічний сканер. Компанії знадобиться ще від трьох до п’яти років на комерціалізацію технології та вирішення низки складних інженерних завдань. Окрім джерела випромінювання, для повноцінного процесу виробництва чіпів необхідні високоточні багатошарові дзеркала, системи збору світла, оптика та відповідна екосистема постачальників.
Джерела: tomshardware.com
